■ 더 빠르고 효율적인 작업을 위한 전방 Main control

 이미지의 초점을 맞추는 동안 대물렌즈 변환, 관찰 방식 결정과 동시에 AS(Aperture Stop)의 조절도 버튼으로 제어됩니다. 초점조절 핸들에서 손을 떼지 않고 엄지손가락 만으로도 가볍게 조절할 수 있어 반도체 검사의 능률을 개선시키며, 열십자로 교차되는 버튼은 손가락의 감각을 향상시키고  작업 시 발생할 수 있는 실수를 예방합니다.

 

 

■ 안전하고 빠른 웨이퍼 로더 - AL110

Wafer loader는 MX61과 MX61L의 바닥크기를 넘지 안고 설치할 수 있으며, 쪽집게 없이 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 다룰 수 있게합니다. 웨이퍼 카세트는 현미경 전면에 쉽게 설치 할 수있습니다.

 

■ 대물렌즈 선택과 동시에 이루어지는 AS조절

14단계로 조절되는 AS(Aperture stop) 기능으로 대물렌즈를 바꿀 때 바로 AS를 맞출 수가 있어 AS를 맞출때 소요되는 시간과 노력을 줄여 작업자의 피로를 낮추고 검사의 속도를 높일 수 있습니다.

■ 쉬운 스위치 사용과 관찰 방식의 추가

 MX61과 MX61L 둘 다 brightfield, darkfield, optional cube의 선택을 하나의 스위치로 빠르게 할 수 있습니다.

 

 

■ 두개의 고정밀 스테이지로 빠른 샘플 위치선정

 MX-SIC1412R2과 MX-SIC8R 두개의 스테이지를 사용할 수 있습니다. 클러치가 달린 손잡이로 샘플의 대략적인 위치를 잡은 후에 나사 손잡이로 정밀한 위치를 조정할 수 있습니다.

 

 

■ 빠른 대물렌즈 변환

 전동 nosepiece의 회전은 기존 모델에 비해 20%가 빨라졌으며 버튼 조작으로 고배율-저배율, 저배율-고배율을 변환하여 빠르게 검사할 수 있습니다. 사용자는 필요에 따라 세가지 clean-type 전동 nosepiece를 선택할 수 있습니다.

 
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